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碳化硅单晶生长炉感应加热电源
发布时间:2020-11-16 21:06:45  阅读次数:
一. 产品简介
  碳化硅单晶生长炉感应加热电源是专为采用气相沉积法的单晶生长炉而设计的中频感应加热电源。整个工作过程采用高精度功率闭环控制,工作频率自动跟踪感应圈负载电感量的变化,全程软开关控制,电磁干扰小。功率因数大于0.92,电源本体转化效率高于0.96,体积小,损耗低,具有多种控制信号选择,是替代中频发电机组和晶闸管中频熔炼电源的理想节能电源。
  碳化硅单晶生长炉感应加热电源系列具有使用操作方便、锁相频率范围大、对不同的感应圈适应能力强。可广泛应用于气相沉积法的单晶生长炉感应加热,例如SiC单晶生长炉。
二. 性能指标
  1. 采用柜式一体化设计。
  2. 高精度功率闭环控制,恒功率精度高于0.5%。
  3. 中频变压器采用超微晶合金材料或高性能铁氧体材料,体积小、损耗低、转化效率高于0.95,谐振电容采用干式低损耗薄膜电容,损耗角小于万分之二。
  4. 功率器件采用IGBT,以LC串联谐振方式,工作频率适应范围大。
  5. 操作使用方便,100%的启动成功率,输出功率1%~100%连续可调。
  6. 具有高可靠性,MTBF大于50000h。
  7. 具有软启动、软关断功能。
  8. 功率闭环控制,具有限流、限压、限功率和缺相、过流、过压、过温等保护功能。
  9. 自动限压功能,输出电压≥1.1倍额定电压时,电压被限制。
  10. 自动限流功能,输出电流≥1.1倍额定电流时,电流被限制。
  11. 功率因数大于0.92,电源的转化效率高于0.96。
  12. 中频电压、电流、频率、功率模拟或数字隔离变换输出和有多种控制信号选择,可与PLC、上位机通讯,便于监控。
三. 型号说明
四. 技术参数
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